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      近年來，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)不斷演進(jìn)，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)容，設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加快。作為晶體生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域的深耕者，無錫松瓷機(jī)電有限公司（以下簡(jiǎn)稱“松瓷機(jī)電”）主動(dòng)應(yīng)變、精準(zhǔn)布局，加快邁入半導(dǎo)體新賽道。

前沿洞察
創(chuàng)新領(lǐng)航

      松瓷機(jī)電是無錫奧特維科技股份有限公司（股票代碼：688516）旗下控股子公司，依托母公司在光伏設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)積累與全球化布局，已發(fā)展成為全球領(lǐng)先的光伏直拉單晶爐制造商，合作客戶覆蓋晶科、天合、阿特斯等國(guó)內(nèi)外頭部光伏企業(yè)，全球市占率穩(wěn)居前列。
      在深耕光伏主業(yè)的同時(shí)，松瓷機(jī)電憑借多年的晶體生長(zhǎng)設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)于2023年正式拓展半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)，陸續(xù)推出硅部件單晶爐、硅部件多晶鑄錠爐、IC級(jí)半導(dǎo)體單晶爐、碳化硅長(zhǎng)晶爐以及配套設(shè)備純化爐等多款半導(dǎo)體產(chǎn)品，同時(shí)開設(shè)智能車間整線自動(dòng)化方案業(yè)務(wù)，滿足客戶智能化、系統(tǒng)化、高效化的生產(chǎn)需求。

芯光璀璨
成果矚目

• 產(chǎn)品系列：SC-1600-SP、SC-1700-SP、SC-1800-SP、SC-1600MCZ-SP、SC-1700MCZ-SP
• 副室：Φ650mm、Φ700mm
• 磁場(chǎng)兼容：勾型/水平對(duì)置
• 全自動(dòng)控制系統(tǒng)
• AI智能拉晶+遠(yuǎn)程集控+整線自動(dòng)化
• ≥36吋熱場(chǎng)及大直徑晶棒工藝+無磁場(chǎng)低氧

      松瓷機(jī)電2023年9月推出全球首臺(tái)SC-1600 MCZ SEMI半導(dǎo)體級(jí)磁拉單晶爐，最大可拉制26英寸大尺寸晶棒。產(chǎn)品采用全新的提拉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，超高精度傳動(dòng)系統(tǒng)，兼容超導(dǎo)磁場(chǎng)（可選配）。在滿足大尺寸晶棒對(duì)重量及速度的嚴(yán)格要求下，實(shí)現(xiàn)硅部件晶體拉制工藝。硅部件多晶鑄錠爐提供定制化服務(wù)，可聯(lián)排爐設(shè)計(jì)，兼容八角坩堝，配套單次復(fù)投30kg加料，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能高度翻倍。
      目前，硅部件單晶爐及硅部件多晶鑄錠爐已獲得韓國(guó)知名半導(dǎo)體企業(yè)訂單，設(shè)備在客戶現(xiàn)場(chǎng)表現(xiàn)優(yōu)異，贏得客戶高度認(rèn)可。

IC級(jí)半導(dǎo)體單晶爐系列

• 產(chǎn)品系列：SC-1200MCZ、SC-1400MCZ、SC-1600MCZ、SC-1700MCZ
•副室：Φ460mm*5500mm
•最大5000Gs水平對(duì)置磁場(chǎng)
•全自動(dòng)控制系統(tǒng)
•AI智能拉晶+遠(yuǎn)程集控+整線自動(dòng)化
•最大拉制4.0m長(zhǎng)12吋單晶 
•控徑能力≤±0.1mm+鎖拉速控制

      此外，松瓷機(jī)電推出的IC級(jí)半導(dǎo)體單晶爐系列產(chǎn)品，可滿足不同尺寸晶棒拉制需求。產(chǎn)品搭載的全新AI智能拉晶系統(tǒng)，利用深度學(xué)習(xí)算法和AI智能圖像解析技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高精度熔料檢測(cè)、自動(dòng)降籽晶熔接、智能斷棱檢測(cè)、快速開叉識(shí)別等生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)包含引晶、放肩、等徑、收尾等全過程無人工干預(yù)的全自動(dòng)控制。產(chǎn)品最大可拉制4.0m長(zhǎng)12吋單晶，可定制5000Gs超大尺寸磁場(chǎng)，控徑能力≤±0.1mm。

通過運(yùn)用專業(yè)的仿真模擬軟件，經(jīng)過反復(fù)的熱場(chǎng)模擬，適配的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高穩(wěn)定性運(yùn)行。在滿足大尺寸IC級(jí)半導(dǎo)體晶棒生產(chǎn)的同時(shí)，保證晶體的高品質(zhì)輸出。

碳化硅長(zhǎng)晶爐

• 晶錠尺寸：6吋、8吋、12吋
•加熱方式：電阻式、電感式
•全自動(dòng)控制系統(tǒng)
•AI智能拉晶+遠(yuǎn)程集控+整線自動(dòng)化
•多溫區(qū)高精度全流程無波動(dòng)控溫
•定制化服務(wù)

      另外，松瓷機(jī)電打造的碳化硅長(zhǎng)晶爐產(chǎn)品可采用電阻加熱、電感加熱兩種加熱方式，兼容8英寸和12英寸長(zhǎng)晶，同時(shí)配備智能化控制系統(tǒng)，滿足長(zhǎng)晶過程全自動(dòng)控制及遠(yuǎn)程集控，設(shè)備穩(wěn)定性高，產(chǎn)出率高。研發(fā)團(tuán)隊(duì)使用VR、COMSOL等仿真模擬軟件，對(duì)SiC熱場(chǎng)進(jìn)行設(shè)計(jì)及驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)設(shè)備與熱場(chǎng)工藝高匹配度。現(xiàn)階段8英寸工藝可將籽晶處徑向溫差控制在10℃-15℃，生長(zhǎng)速率150-300um/h，長(zhǎng)晶凸度可控制到1-3mm，長(zhǎng)晶良率90%以上。憑借大量的仿真數(shù)據(jù)與長(zhǎng)晶經(jīng)驗(yàn)，松瓷機(jī)電可為客戶提供定制化熱場(chǎng)設(shè)計(jì)及優(yōu)化服務(wù)，與客戶攜手合作攻克工藝難點(diǎn)。

碳化硅樣品展示

（8inch）

      作為半導(dǎo)體行業(yè)一顆冉冉升起的新星，松瓷機(jī)電正在用實(shí)力一步一個(gè)腳印走出一條屬于自己的市場(chǎng)之路。未來，松瓷機(jī)電將帶給半導(dǎo)體市場(chǎng)更多驚喜，一起攜手，為半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。