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TLT300MP是根據當前實驗室客戶需求開發的實驗用12英寸CMP設備。該設備擁有自主知識產權的創新技術，配備性能優越的拋光單元，兼容8/12英寸晶圓，適用于多種材質，可實現晶圓表面的超高平整度，工藝搭配靈活、滿足高精度制程技術需求。